行星齒輪傳動裝置總重量，一般情況下與齒輪的重量成正比，而齒輪的重量與其材料和熱處理硬度又有很強的關聯。例如，在相同功率下，滲碳淬火齒輪的重量將是調質齒輪重量的1/3左右。所以針對行星齒輪減速機的結構特性和齒輪的載荷性質，應該廣泛采用硬齒面齒輪。

 眾所周知，行星減速機獲得硬齒面齒輪的熱處理方法很多，如表面淬火，整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，這些方法根據行星齒輪減速機的特點考慮選定。下面簡單分析一下行星減速機內部齒輪的熱處理方法。

1、表面淬火
常見的表面淬火方法有高頻淬火和火焰淬火兩種，對小尺寸齒輪采用前者，對大尺寸齒輪采用后者。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，效果好。表面淬火齒面硬度可達洛氏硬度45~55。
2、滲碳(C)淬火
結果滲碳淬火后的齒輪具有相對較大的承載能力，但必須采用精加工工序(磨齒)來消除熱處理變形，以保證精度（精確度）。
滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的質量分數為0.2%~0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58~62HRC。滾珠絲桿升降機行星減速機的特點是體積小，輸出扭矩大，傳動效率高，只要有這些要求的地方都可以用。若低于57HRC時，齒面強度顯著下降，高于62HRC時則脆性會增加。齒輪心部硬度一般以310~330HBW為宜。滲碳淬火后的齒輪硬度，有效滲碳深度規定為表面至硬度52.5HRC處的深度。
滲碳(C)淬火除了使齒輪心部硬度有所提高外，還可使齒輪 大拉應力區的應力減小。因此磨齒時不能磨齒根部分，滾齒時要用留磨量以便滾刀。
3、滲氮
滲氮可保證齒輪在變形很小的條件下達到很高的齒面硬度和耐磨耗性，熱處理后不再進行后的精加工，提高齒輪承載能力
4、嚙合齒輪的硬度組合
當大、小齒輪均為軟齒面時，小齒輪的齒面硬度應高于大齒輪。而當兩輪均為硬齒面且硬度較高時，則取兩輪硬度相同。